出展の見どころ
| （株）ウィックス | ||
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光学薄膜フェア No. A-21 |
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| 〒244-0002 | |||
| 神奈川県 横浜市戸塚区矢部町12−1 さのやビル2階 | |||
| URL：http://www.wexx.jp | |||
| ● 担当 | |||
| 営業技術部 | |||
| TEL：045-870-4784 FAX：045-870-4783 | |||
| ● 出展の見どころ | |||
| 株式会社ウィックスは下記内容の出展を致します。 ・真空成膜プロセスの歩留・品質の改善、維持管理に活躍するモニター機器 In-situ計測用、真空中パーティクルモニタ【2Way（差込＋チェンバー内設置）】 Inficon社製質量ガス分析計【業界最先端の性能】 ・Inficon社製膜厚コントローラ、膜厚モニター、膜厚センサー、水晶振動子の他 ご来場をお待ちしております。 |
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| ● 出展製品 | |||
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真空中パーティクルモニタ 真空中のパーティクルをリアルタイムでモニターします。?チャンバー・排気ラインへの挿入、?チャンバー内への設置の2wayに対応し、歩留を左右するパーティクルの計測ができます。 |
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インフィコン社製質量ガス分析計（RGA） インフィコンTranspectorシリーズは、業界最先端性能で、プロセス改善、工程管理に寄与します。用途に応じ蒸着向けMPS/MPH、スパッタ向けXPR3+、複合プロセス向けCPMを取り揃えています。 |
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インフィコン社製水晶振動子、膜厚コントローラ・モニター・センサー 金、銀、アルミ合金電極の3種類各5MHz、6MHzと、各種膜厚センサー、複雑なプロセスに対応した膜厚コントローラから手軽にご活用頂ける膜厚モニターまでラインナップを取り揃えています。 |
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| ● 出展カテゴリ | |||
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| ● ブース訪問予約／お問合せフォーム | |||
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