＜用語解説＞

クリティカル照明 Critical Illumination

　光源の像を試料と重ねて照明する方式。比較的狭い範囲をより明るく照明する光学系に用いる。光源を集光レンズで試料付近に集光させるため、投影レンズ(結像レンズ)により試料と光源が重なって投影される。明るい照明になるが光源のフィラメント像が試料と重なって見え、照明むらになる欠点がある。このため、実際には、集光レンズによる光源像を試料からずらして光源の像がぼけるようにしている場合が多い。

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