＜用語解説＞

斜入射照明超解像 Super Resolution with Off-Axis Illumination

　入射瞳の中心部を使わず周辺部から光を入射させる方法で輪帯照明や偏斜照明がある。輪帯照明はレンズの入射瞳に瞳径よりも小さな遮光板を設置し、瞳位置で輪帯状に光が通るようにした照明方法。0次回折光を使わず1次以上の回折光で結像させるので回折限界以上に解像力が上がる。偏斜照明も同様で、遮光板で入射瞳の一部を覆って片側照明する。解像度が上がり立体的に観察できる。瞳を覆う代わりにコンデンサーレンズをずらして光を斜めから入射させる方法もある。

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