＜用語解説＞

投影検査器 Profile Projector

　被検物を光学的に拡大投影し、スクリーン面でその形状、寸法などを二次元的に計測する検査装置。照明系は透過照明と反射照明を装備しており、被検物により選択して用いる。投影検査器では形状寸法を高精度で測るため、倍率誤差が少ないこと、解像力が高いこと、照明むらがなく投影像が明るく観察しやすいことが要求される。特に倍率誤差のないことは重要であり、照明系(集光系)は倍率誤差が少なくなるようにテレセントリック照明になっている。また投影レンズも物体側テレセントリックになっている。投影レンズは倍率誤差と輪郭形状の誤差の原因となる歪曲収差が十分に補正されているレンズが使用される。

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