＜用語解説＞

シャック・ハルトマンセンサ Shack-Hartman Sensor

　入射波面を2次元配列されたマイクロレンズで分割し、CCD等の撮像素子に投影し波面収差などの測定に用いられるセンサ。マイクロレンズを介して撮像素子に結像されるスポットは,入射波面(測定波面)の法線に垂直な方向にシフトされ結像されるため、それぞれのスポットの位置を演算することで波面収差を求めることができる。望遠鏡の性能測定、望遠鏡の大気の揺らぎによる位相の乱れの測定などに、最近は眼球の波面収差測定、半導体ウェハの平面度測定などにも用いられている。

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