月刊OPTRONICS
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2021.5 vol.40 No.473 |
【From Editor's】
月刊 OPTRONICS 5 月号ではディスプレイ・半導体分野におけるレーザーアニーリング技術の発展に焦点を当て特集します。この技術分野ではエキシマレーザーに加え、可視光レーザーによるプロセス開発も進んでいます。本特集ではディスプレイはもとより、パワー半導体向けレーザーアニーリング技術も解説します。
ディスプレイ・半導体におけるレーザーアニーリング技術の発展
総論:レーザーアニーリング装置・プロセスの発展と今後の技術開発への期待
琉球大学名誉教授 野口 隆
ディスプレイとLTPS-TFT用露光装置の進展
イトウデバイスコンサルティング 伊藤 丈二
高繰り返しKrF エキシマレーザー光源のアニールへの適用
九州大学 水谷 彬,池上 浩
ギガフォトン(株) 溝口 計
エキシマレーザアニーリング,モバイルディスプレイ分野のロードマップを促進
Coherent, Inc. Ralph Delmdahl
パワー半導体向けレーザーアニーリング装置とそのプロセス
住友重機械工業(株) 若林 直木,萬 雅史,岡田 康弘
ブルーレーザーダイオードアニーリングと実用化への期待
琉球大学 岡田 竜弥
光ファイバーと青色半導体レーザーを用いたアニーリング技術
(株)ブイ・テクノロジー 小杉 純一
光の層が生み出す新たな世界 ─ 蛍光によるプリミティブな表示デバイスの可能性
cog 石川 将也
成長のカギは,ヘルスケアとシリコンフォトニクスにあり
(株)QDレーザ 代表取締役社長 菅原 充 氏
NTT,機械振動を用いた光増幅を可能にするオプトメカニカル素子を作製
─ 超小型・高効率光増幅器に一歩
私の追憶
最終回 わが師Leibingerさんとの思い出
─ Trumpf の友人たち/おわりに ─
LTF-Laser Technology Fountain 門屋 輝慶
若手研究者の挑戦 第65回
計測分野へ向けた高精度な距離・形状測定を実現するTOF距離イメージセンサ
静岡大学 安富 啓太
・ 2021年度レーザー産業賞の受賞社が決定
・ 東大・合田氏,2021年バイオフォトニクス技術イノベーター賞受賞
・ オフィールジャパン,ISO/IEC 17025(A2LA)認定を取得
・ ウシオ電機と島根大,222 nm 安全性に関わる限界値を解明
・ JPC 関西,第二回オンラインサロン開催報告
・ 微小光学研究会,「リモートと微小光学」をテーマに研究会を開催へ
・ 青色半導体レーザー接合加工研究会が発足
・ 訃報・名城大学終身教授/特別栄誉教授・赤?勇氏
・ 新社会人のための?光″のセミナーウィークを開催へ
2020年度の光産業調査結果がまとまる
─ 情報通信分野がテレワークや5G効果で堅調
レーザー光学とレーザー用光学部品の基礎
第15 回 オプティカルコーティング(5)
エドモンド・オプティクス・ジャパン(株)
ひかりがたり 第98話 トンネルの向こう
納谷 昌之
発明・特許のこぼれ話 第161回 宇宙での特許
熟成考房舎 鴫原 正義
論調 〜海外技術誌を読み解く Vol.44 先延ばし(procrastination)
井筒 雅之
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特集「ポストコロナ時代の紫外線技術(仮)」
▼総論 ………………………………………………………………… (国研)理化学研究所 平山 秀樹
▼人体無害220 nm紫外光のウイルス不活化効果 ………………… 神戸大学 錦織 千佳子
▼単結晶AIN 上高出力UV-Cとその応用 …………………………… 旭化成? 三矢 伸司
▼深紫外線LED による新型コロナウイルスの不活化への取り組み … 徳島大学 南川 丈夫
▼深紫外LED による表面,水中,エアロゾル不活化応用開発
……………………………………………………… ナイトライド・セミコンダクター? 村本 宣彦
▼水銀フリー深紫外UV-LAFi光源のデバイス技術と応用 ………… ?紫光技研 平川 仁
▼紫外線を利用した水の消毒 ………………………………………… 東京大学 小熊久美子
(都合により,内容に変更のある場合があります。)